众所周知,静电具备一定的吸附能力,在日常生活当中制造一些小尴尬和小麻烦。可你是否知道,静电所生成的吸附力是否可以为我们所用?
一、技术概述
1、技术概述
静电吸附系统利用电场力作为吸附力,通过柔性电极适应表面粗糙度,针对柔性静电吸附方式特殊性,首先分析了静电吸附电极的工作原理,并对其电场分布及吸附电容影响因素进行研究,对吸附电极优化设计方法给出指导。
2、工作原理
静电吸附系统(ESC ADSORPTION SYSTEM),简称ESC SYSTEM,依据库伦定律(两个静止的带电粒子间的相互作用力)和洛伦兹定律(运动的电和在磁场中受的力),利用电磁力从而实现对物体有效地吸附。
ESC SYSTEM 静电控制主机通过将直流电压经过增压、滤波及倍压处理,转化为高压静电,静电高压经过静电吸附单元(以单极或双电极输入模式)形成静电磁场,从而对物体(导体或非导体机制)进行静电吸附。
3、结构示意
(1)利用位于主体上电源产生静电作用力(而不是被动的方法,使用范德华力)。
(2)能够快速开启和关闭。
(3)利用导电和非导电基板上间的静电作用力。
(4)与两种不同导体基质所采用的吸附方式:
与导电基板→通过洛伦兹力夹取。
与非导电基板→通过极化作用力夹取。
二、产品优势
采用静电吸附方式,可以避免对物体表面的摩擦,从而避免损失物体表面;对不规则且表面粗糙物体进行吸附;吸附微元器件;吸附易碎物品。
1、 静电吸附系统优点
许多机器采用的是机械运动或真空吸力,但这类机器体型很大,造价高昂,且耗电很高。传统抓取搬运设备想要拿起特定的物体,还需要对它们进行配置。而如果对象是玻璃板这样的脆弱物体,那它们也无能为力。
静电吸附系统可举起并运输物体,其表面的电极可在几乎任何物体之间产生并维持强大的吸附力,可以拿起任何物体,比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅胶板和纤维板。
2、 使用对比
ESC 静电吸附系统可用于不规则、表面粗糙、无法磁性吸附或对表面清洁度要求较高的物体抓取。
三、静电吸附系统运用
静电吸附系统技术在研发之初,就致力于解决半导体及OLED 显示屏行业在生产制造过程中由于生产工艺或流程的缺陷而导致产品表面损伤、硅胶真空吸盘老化积尘等问题。
科技不断追加研发资金,从原材料的选择及覆膜方式,到控制方式及输出方式形成一套完善的技术积累。第三代静电吸附系统不仅吸附力大幅度提高,吸附稳定性也得到大幅度提高,能够最大限度的保证产品表面不会受到损害。
四、运用案例:
1、面板行业真空贴合;
2、半导体芯片封装;
3、微电子集成电路;
4、精密光学元件制造;
5、太阳能光伏生产领域;
6、LED封装。
五、 静电吸附系统稳定性
静电吸附系统由静电吸附控制器(静电高压源)、静电吸附单元(静电磁场)构成及附件单元组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面采用氮化铝陶瓷覆膜,在保证输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。